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Verfahren

  • PVD

    PVD ist die Abkürzung für „Physical Vapour Deposition“, was im Deutschen so viel wie „physikalische Dampfabscheidung“ bedeutet. Es wird hierbei im Vakuum ein Metall verdampft, um auf einem Substrat abgeschieden zu werden. Bei dem von uns eingesetzten Verfahren der kathodischen Lichtbogenverdampfung („Cathodic Arc“) wird das Metall mittels eines Lichtbogens verdampft, ionisiert und in einem elektrischen Feld auf das Substrat beschleunigt und dort abgeschieden.

    Durch die Zugabe von reaktiven Gasen können nicht nur Metalle abgeschieden werden, sondern auch keramische Hochleistungsschichten wie Nitride, Oxide oder Carbide. Bedingt durch den hohen Ionisierungsanteil von bis zu 90 % entstehen hierbei sehr dichte und extrem gut haftende Schichten, die extremen Anforderungen standhalten können.

  • PECVD

    PECVD (auch PACVD genannt) ist die Abkürzung für „Plasma Enhanced (Assisted) Chemical Vapour Deposition“, was im Deutschen so viel bedeutet wie „plasmaunterstützte chemische Dampfabscheidung“. Hierbei werden dem Beschichtungsprozess ausschließlich gasförmige Stoffe zugeführt, die mittels eines Plasmas aktiviert werden und dann miteinander chemische Reaktionen eingehen können. Im Gegensatz zur herkömmlichen CVD-Technik, bei der die Reaktionen bei hohen Temperaturen von ca. 1.000°C erfolgen, sind durch die Plasmaunterstützung schon Abscheidungen bei unter 200°C möglich. Mit diesem Verfahren werden in erster Linie DLC („Diamond Like Carbon“)-Beschichtungen und siliziumhaltige DLC-Beschichtungen abgeschieden, dessen Eigenschaften auf den einzelnen Anwendungsfall angepasst werden können.

    Mit entsprechenden Precursoren ist es auch möglich, die Eigenschaften der DLC-Beschichtungen weiter auf die Wünsche unserer Kunden abzustimmen oder auch vollkommen andere Beschichtungen abzuscheiden.

Technologien

  • Hochvakuum-Durchlaufanlagen

    Die Hochvakuum-Durchlaufanlagen für kombinierte Prozesse (elektronisch überwacht) gewährleisten höchste reproduzierbare Qualität – vom großvolumigen Einzelstück bis zur Großserienproduktion von hochbelasteten Bauteilen für die KFZ-Industrie. Die besondere Konzeption und Ausstattung der Hauptbeschichtungskammer mit einer Vor- und einer Nachkammer ermöglicht es, das Vakuum in der eigentlichen Beschichtungs-Hauptkammer permanent aufrechtzuerhalten. Diese Technik sorgt zum einen für eine hochreine Gestaltung unserer Schichten, Verunreinigungen durch Fremdstoffe sind nahezu ausgeschlossen. Zum anderen erlaubt die spezielle Anlagentechnik einen sehr viel schnelleren Prozess als bei herkömmlichen Batch-Anlagen. Großserienbauteile können auf diese Art besonders kostengünstig beschichtet werden.

  • Batch-Anlagen

    Unseren Batch-Beschichtungsanlagen ermöglichen die Einstellung individueller Beschichtungen und Materialwechsel innerhalb kürzester Zeit. Sie bietet somit höchste Flexibilität und Anpassungsspielraum bei individuellen Kundenlösungen, die wir maßgeschneidert auf Ihre Bedürfnisse entwickeln.

  • Laborentwicklungsanlagen

    Unsere Laborentwicklungsanlagen erlauben uns Testläufe für Entwicklungsprozesse, mit deren Hilfe die Entwicklungskosten in der Vorserienphase gering gehalten werden können, während sie gleichzeitig eine hohe Aussagekraft über das nachfolgende Scale-Up bieten. Außerdem lassen sich Kleinserienteile mit den Laboranlagen sehr viel einfacher beschichten als mit den herkömmlichen Batch- oder den Durchlaufanlagen.

Anlagen